1. การออกแบบบูรณาการของกล้องจุลทรรศน์โลหะเชิงแสงและกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม, ฟังก์ชั่นที่มีประสิทธิภาพ

2.มีทั้งฟังก์ชั่นการถ่ายภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงและกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ซึ่งทั้งสองอย่างนี้สามารถทำงานได้พร้อมกันโดยไม่กระทบกัน

3. ในขณะเดียวกันก็มีฟังก์ชั่นการวัดสองมิติด้วยแสงและการวัดสามมิติด้วยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม

4. มีการรวมหัวตรวจจับเลเซอร์และขั้นตอนการสแกนตัวอย่างเข้าด้วยกัน โครงสร้างมีความเสถียรมาก และป้องกันการรบกวนได้ดี

5. อุปกรณ์กำหนดตำแหน่งโพรบแม่นยำ การปรับตำแหน่งจุดเลเซอร์ทำได้ง่ายมาก

6. ตัวอย่างไดรฟ์แกนเดียวเข้าหาหัววัดในแนวตั้งโดยอัตโนมัติ เพื่อให้ปลายเข็มสแกนตั้งฉากกับตัวอย่าง

7. วิธีการป้อนเข็มอัจฉริยะของการตรวจจับอัตโนมัติเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกแรงดันที่ควบคุมด้วยมอเตอร์ช่วยปกป้องโพรบและตัวอย่าง

8. ระบบกำหนดตำแหน่งด้วยแสงกำลังขยายสูงพิเศษเพื่อให้ได้ตำแหน่งที่แม่นยำของโพรบและพื้นที่สแกนตัวอย่าง

9. ตัวแก้ไขผู้ใช้การแก้ไขแบบไม่เชิงเส้นของสแกนเนอร์ในตัว การระบุลักษณะนาโนเมตร และความแม่นยำในการวัดดีกว่า 98%

ข้อมูลจำเพาะ: