1. หัวตรวจจับเลเซอร์และขั้นตอนการสแกนตัวอย่างรวมอยู่ในโครงสร้างมีความเสถียรมากและการต่อต้านการแทรกแซงนั้นแข็งแกร่ง
2. อุปกรณ์การวางตำแหน่งโพรบความแม่นยำการปรับการจัดตำแหน่งเลเซอร์เป็นเรื่องง่ายมาก
3. ตัวอย่างไดรฟ์แกน-แกนเข้าหาโพรบในแนวตั้งโดยอัตโนมัติเพื่อให้ปลายเข็มตั้งฉากกับการสแกนตัวอย่าง
4. วิธีการให้อาหารแบบเข็มอัจฉริยะของการตรวจจับแบบอัตโนมัติแบบอัตโนมัติที่ควบคุมด้วยมอเตอร์
5. การวางตำแหน่งออปติคัลแบบอัตโนมัติไม่จำเป็นต้องโฟกัสการสังเกตแบบเรียลไทม์และการวางตำแหน่งของพื้นที่สแกนตัวอย่างโพรบ
6. วิธีการกันกระแทกระบบกันสะเทือนแบบเรียบง่ายและใช้งานได้ง่ายและใช้งานได้ดี
7. กล่องกันเสียงป้องกันโลหะ, เซ็นเซอร์อุณหภูมิและความชื้นที่มีความแม่นยำสูงในตัว, การตรวจสอบสภาพแวดล้อมการทำงานแบบเรียลไทม์
8. เครื่องสแกนเนอร์ผู้ใช้งานการแก้ไขแบบไม่เชิงเส้นการกำหนดลักษณะของนาโนเมตรและความแม่นยำในการวัดได้ดีกว่า 98%
| โหมดปฏิบัติการ | โหมดสัมผัสโหมดแตะ |
| โหมดเสริม | แรงเสียดทาน/แรงด้านข้างแอมพลิจูด/เฟสแรงแม่เหล็ก/ไฟฟ้าสถิต |
| เส้นโค้งสเปกตรัม | เส้นโค้งแรง FZ, เส้นโค้ง RMS-Z |
| ช่วงการสแกน XY | 20*20um, ตัวเลือก 50*50um, 100*100um |
| ช่วงการสแกน z | 2.5um, 5um เสริม, 10um |
| ความละเอียดสแกน | แนวนอน 0.2nm แนวตั้ง 0.05nm |
| ขนาดตัวอย่าง | φ≤90mm, h≤20mm |
| ตัวอย่างการเดินทางบนเวที | 15*15 มม. |
| การสังเกตด้วยแสง | 4x Optical Objective Lens/2.5UM ความละเอียด |
| ความเร็วในการสแกน | 0.6Hz-30Hz |
| มุมสแกน | 0-360 ° |
| สภาพแวดล้อมการดำเนินงาน | ระบบปฏิบัติการ Windows XP/7/8/10 |
| อินเทอร์เฟซการสื่อสาร | USB2.0/3.0 |
| การออกแบบที่ดูดซับแรงกระแทก | สปริงแขวน/กล่องป้องกันโลหะ |
