1. หัวตรวจจับเลเซอร์และขั้นตอนการสแกนตัวอย่างถูกรวมเข้าด้วยกัน โครงสร้างมีความเสถียรมาก และการป้องกันการรบกวนนั้นแข็งแกร่ง
2.อุปกรณ์กำหนดตำแหน่งโพรบแม่นยำ การปรับตำแหน่งจุดเลเซอร์ทำได้ง่ายมาก
3.ตัวอย่างไดรฟ์แกนเดียวเข้าหาโพรบในแนวตั้งโดยอัตโนมัติ เพื่อให้ปลายเข็มตั้งฉากกับการสแกนตัวอย่าง
4. วิธีการป้อนเข็มอัจฉริยะของการตรวจจับอัตโนมัติเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกแรงดันที่ควบคุมด้วยมอเตอร์ช่วยปกป้องโพรบและตัวอย่าง
5. การวางตำแหน่งออปติคอลอัตโนมัติ ไม่จำเป็นต้องโฟกัส การสังเกตตามเวลาจริงและการวางตำแหน่งของพื้นที่การสแกนตัวอย่างโพรบ
6.Spring Suspension shockproof method, เรียบง่ายและใช้งานได้จริง, กันกระแทกได้ดี
7. กล่องกันเสียงหุ้มด้วยโลหะ, เซ็นเซอร์อุณหภูมิและความชื้นความแม่นยำสูงในตัว, การตรวจสอบสภาพแวดล้อมการทำงานแบบเรียลไทม์
8.ตัวแก้ไขผู้ใช้การแก้ไขแบบไม่เชิงเส้นของสแกนเนอร์ในตัว ลักษณะเฉพาะของนาโนเมตร และความแม่นยำในการวัดดีกว่า 98%
โหมดการทำงาน | โหมดสัมผัส โหมดแตะ |
โหมดเสริม | แรงเสียดทาน/แรงด้านข้าง แอมพลิจูด/เฟส แรงแม่เหล็ก/ไฟฟ้าสถิต |
เส้นโค้งสเปกตรัมของแรง | เส้นโค้งแรง FZ, เส้นโค้ง RMS-Z |
ช่วงการสแกน XY | 20 * 20um ตัวเลือก 50 * 50um 100 * 100um |
ช่วงการสแกน Z | 2.5um, ตัวเลือก 5um, 10um |
ความละเอียดในการสแกน | แนวนอน 0.2 นาโนเมตร แนวตั้ง 0.05 นาโนเมตร |
ขนาดตัวอย่าง | Φ≤90mm, H≤20mm |
ตัวอย่างการเดินทาง | 15*15มม |
การสังเกตด้วยแสง | เลนส์ใกล้วัตถุออปติคัล 4X/ความละเอียด 2.5um |
ความเร็วในการสแกน | 0.6Hz-30Hz |
มุมการสแกน | 0-360° |
สภาพแวดล้อมการทำงาน | ระบบปฏิบัติการ Windows XP/7/8/10 |
อินเทอร์เฟซการสื่อสาร | USB2.0/3.0 |
การออกแบบที่ดูดซับแรงกระแทก | กล่องแขวนสปริง / กล่องหุ้มโลหะ |